集成電路用超純水設(shè)備的工藝流程以及特點(diǎn)
【南京純水設(shè)備】集成電路用超純水設(shè)備主要采用雙級(jí)反滲透+EDI連續(xù)電除鹽技術(shù)。前置預(yù)處理可有效去除原水中的膠體、懸浮物、余氯等雜質(zhì)，通過雙級(jí)反滲透進(jìn)一步提高水質(zhì)，以延長EDI膜堆使用壽命。在用水點(diǎn)前采用氮封水箱，使產(chǎn)水水質(zhì)更加穩(wěn)定，電阻率能達(dá)到18 MΩ*cm（25℃）。
集成電路用超純水設(shè)備工藝流程：
原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水裝置→保安過濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透→中間水箱→二級(jí)高壓泵→二級(jí)反滲透→EDI泵→EDI系統(tǒng)→拋光樹脂→氮封水箱→用水點(diǎn)南京超純水設(shè)備
集成電路用超純水設(shè)備的特點(diǎn)
1、EDI膜堆有連續(xù)運(yùn)行性，離子交換和再生產(chǎn)同步，無需停機(jī)再生，無需酸堿儲(chǔ)運(yùn)設(shè)備及計(jì)量設(shè)備等。
2、EDI采用連續(xù)電除鹽技術(shù)，離子交換和再生是同步的，其水質(zhì)非常穩(wěn)定，
3、采用氮封水箱，可有效防止超純水與空氣接觸，進(jìn)一步穩(wěn)定水質(zhì)。南京實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備
4、操作簡單，只需要調(diào)節(jié)EDI模塊的電壓、電流，實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)的控制。
5、EDI超純水設(shè)備占地小，設(shè)備安裝維修簡單便捷，自動(dòng)化程度高，便于管理。南京反滲透純水設(shè)備 南京EDI純水處理設(shè)備
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